ICF70XY機(jī)械軸真空光學(xué)SHINKU機(jī)械臂
ICF70XY機(jī)械軸真空光學(xué)SHINKU機(jī)械臂
ICF70XY機(jī)械軸真空光學(xué)SHINKU機(jī)械臂
回轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)VBR-70
規(guī)格
使用焊接回流10 deg/1刻度
傳遞扭矩2N?m手動(dòng)
連接法蘭ICF70FH
旋轉(zhuǎn)棒φ8（SUS304）帶限位器
約820g
容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下
ICF114XY機(jī)械軸XY-114M
規(guī)格】
X?Y平行移動(dòng)±3ｍｍ
最小分辨率0.00004mm/脈沖
安裝法蘭ICF 114
玫瑰內(nèi)徑60mm40mm
容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下
也會(huì)手工制作
迷你手動(dòng)機(jī)械軸X-34/34
本產(chǎn)品在大氣中進(jìn)行超高真空移動(dòng)及測(cè)定等實(shí)驗(yàn)
為了正確且再現(xiàn)性好地操作X軸的平行移動(dòng)而設(shè)計(jì)，進(jìn)行精密的制作、組裝，本公司的產(chǎn)品廣泛地被各方面利用。
規(guī)格
X方向移動(dòng)±2.5ｍｍ
安裝法蘭：ICF34FT
焊接回流內(nèi)徑：φ17ｍｍ
容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下
也制作馬達(dá)驅(qū)動(dòng)。
照片是馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
帶旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機(jī)的便攜棒WSR-80
其他，根據(jù)用途進(jìn)行設(shè)計(jì)。
規(guī)格
焊接回流：伸縮方式
行程：0～80mm（也有100mm）、360°旋轉(zhuǎn)
安裝法蘭：ICF70FH
厚連桿：Φ6、前端部會(huì)根據(jù)用途制作
容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下
貫通型直線導(dǎo)入機(jī)LM-40S-BN(LM-80S-BN)
本產(chǎn)品在以往的直線導(dǎo)入機(jī)上附加了各種導(dǎo)入機(jī)、魚(yú)叉等安裝的法蘭，不僅可以用于超高真空槽的直線移動(dòng)、定位等單純的直線導(dǎo)入機(jī)，還可以進(jìn)行各種復(fù)合操作。
由于安裝法蘭是ICF法蘭，所以可以利用一般的送通，例如，與使用電流導(dǎo)入端子的可動(dòng)型檢測(cè)器、其他的運(yùn)動(dòng)導(dǎo)入機(jī)組合而安裝了2軸動(dòng)作型機(jī)械手、閥門(mén)等的可動(dòng)型噴嘴、可以考慮斯尼弗等廣泛的應(yīng)用。
規(guī)格
移動(dòng)距離：0～40mm（LM-40S-BN）、0～80mm（LM-80S-BN）
連接法蘭：ICF70FH
擴(kuò)展安裝法蘭：ICF34FTBNC付ICF34
定位精度：1rev.2mm1刻度／0.1mm
容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下
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