單元式直通清洗裝置KITAMURA北村制作所直通清洗機(jī)單元式直通清洗裝置半導(dǎo)體,從包裝基板的超精密清洗到零部件的脫脂清洗,廣泛對(duì)應(yīng)的直接路徑清洗系統(tǒng)。通過(guò)對(duì)各工序進(jìn)行單元化,可以提出合理而緊湊的裝置。通過(guò)各單元的組合,可以構(gòu)筑理想的清洗系統(tǒng)
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單元式直通清洗裝置KITAMURA北村制作所
4、直通清洗機(jī)
單元式直通清洗裝置
半導(dǎo)體,從包裝基板的超精密清洗到零部件的脫脂清洗,廣泛對(duì)應(yīng)的直接路徑清洗系統(tǒng)。通過(guò)對(duì)各工序進(jìn)行單元化,可以提出合理而緊湊的裝置。通過(guò)各單元的組合,可以構(gòu)筑理想的清洗系統(tǒng)
利用在大流量液和氣體循環(huán)中產(chǎn)生的作用的清洗原理,實(shí)現(xiàn)極小的縫隙清洗、護(hù)發(fā)素、干燥.半導(dǎo)體清洗、包裝基板的通量清洗、精密零件的間隙清洗等,對(duì)于目前為止的洗滌方式難以清洗、干燥的課題,發(fā)揮其威力
通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)化所需的功能,實(shí)現(xiàn)了設(shè)備尺寸的緊湊化和低價(jià)位化。另外,通過(guò)簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)可以很容易地進(jìn)行維護(hù)
通過(guò)只組合清洗、護(hù)發(fā)素、干燥的各工序的必要部分,可以構(gòu)筑沒(méi)有浪費(fèi)的清洗系統(tǒng)。通過(guò)豐富的選項(xiàng)組合,也可以應(yīng)對(duì)高水平的清洗、干燥精度
型式 | KAD-SU-W | KAD-SU-D |
購(gòu)物籃尺寸 | 100 x 100 x 220H | 100 x 100 x 220H |
工作重量 | 8公斤 | 8公斤 |
裝置尺寸 | 500 x 1050 x 1095H | 500 x 1050 x 1095H |
洗滌液量 | 110升 | 110升 |
電容 | 5.5千瓦 | 5.5千瓦 |
選項(xiàng)。 | 循環(huán)過(guò)濾裝置 | HEPA過(guò)濾器 |
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