ASUMI技研株式會(huì)社掃描準(zhǔn)分子發(fā)射器

掃描準(zhǔn)分子發(fā)射器

將以172nm為主波長(zhǎng)的準(zhǔn)分子照射單元和掃描用載物臺(tái)、臭氧分解裝置一體化，僅用100V的電源就能簡(jiǎn)單且安全地進(jìn)行準(zhǔn)分子表面改性實(shí)驗(yàn)的裝置。 【特征】掃描用

可通過掃描用載物臺(tái)進(jìn)行比以往更大面積的處理。

臭氧分解裝置一體型，無(wú)需排氣設(shè)備等

Ø 掃描準(zhǔn)分子發(fā)射器

型號(hào) ASM86 Excimer

發(fā)光波長(zhǎng) 172納米

處理對(duì)象物 W86mm×D120mm以下、厚度40mm以下

照射距離調(diào)整 帶調(diào)整用實(shí)驗(yàn)室千斤頂(照射距離0~40mm可變)

外形尺寸 本體: ( W)432mm×(D)510mm×(H)520.5mm (突起物除外)

概算重量 約25kg (本體20kg、照射單元4.8kg )

本體材質(zhì) SUS304/A5052P/SPCC

Ø 照射單元

燈泡制造商 濱松光子學(xué)株式會(huì)社制

型號(hào) FLAT EXCIMER EX-86U L13129

照射強(qiáng)度 65mW/c㎡

照射面尺寸 86mm×40mm

準(zhǔn)分子有效照射距離5mm以內(nèi)推薦

冷卻方式 強(qiáng)制空冷

Ø 輸送部

桌面材質(zhì) A5052P (帶定位用狹縫)

遮光罩 PVC (防紫外線黃色)

處理速度 0.1mm/sec~120mm/sec

處理可動(dòng)范圍 240毫米

Ø 其他

觸摸屏 4英寸單色觸摸屏

食譜數(shù) 20方法(處理速度、可設(shè)定照射時(shí)間)

監(jiān)視器功能 當(dāng)前速度、當(dāng)前位置、剩馀時(shí)間帶顯示功能

排臭設(shè)備 內(nèi)置臭氧催化劑(風(fēng)扇強(qiáng)制排氣)

實(shí)用程序 AC100V 50/60Hz 400VA

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