MEGATORR閥門壓力控制器AP-420寬帶閥040(NW40),050(NW50),063(NW63),075(NW80) 在以往的真空壓力控制中,隨著過程的多樣化,壓力控制范圍也呈現(xiàn)出多樣化的趨勢,特別是在低真空(高壓)下壓力控制的需求增加。閥門加熱溫度也一樣,隨著過程氣體的多樣化,變得更需要溫度。為了滿足您的要求而開發(fā)的是這個寬帶閥門。寬壓力控制范圍:101.33kPa(大氣壓)~1
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MEGATORR閥門壓力控制器AP-420
MEGATORR閥門壓力控制器AP-420
壓力控制器AP-420
AP系列是電容計量器(壓力真空計)和槽閥組合使用的壓力控制器。可以從自適應(yīng)/PID/混合動力3種類型中選擇控制方式,確保半導(dǎo)體/FPD/太陽能電池等制造裝置所要求的高速應(yīng)答、高再現(xiàn)性的真空壓力控制。也可以通過前面板進行設(shè)定,操作性非常容易。另外,由于CE標志、RoHS對應(yīng)產(chǎn)品,被世界上所有產(chǎn)業(yè)的量產(chǎn)設(shè)備所使用
壓力控制器AP-100R
Model AP-100R將制造裝置中的真空室進行真空排氣時,通過改變閥門電導(dǎo),作為控制真空排氣速度的下游壓力控制裝置使用。
GOOT太洋電機產(chǎn)業(yè),HACHIKO八光電機制作所,YOKOGAWA橫河電機,WATANABE渡邊電機工業(yè),TOGAMI戶上電機制作所,KASUGA春日電機株式會社,OTOWADENKI音羽電機工業(yè)株式會社,AICHIDNK新愛知電機制作所,OKAYAELEC岡谷電機產(chǎn)業(yè)株式會社,TOSHIBA東芝產(chǎn)業(yè)機器システム株式會社,
NIKKO日幸電機制作所,FUKUDADENKI福田電機制作所,KYOEIDENKI協(xié)榮電機,NIHONDENKISANGYO日本電機產(chǎn)業(yè),SATORI佐鳥電機,SHINOHARA篠原電機,TSURUTA鶴田電機,NUNOME布目電機,FUJIELECTRIC富士電機機器制御,FUJIDK不二電機工業(yè),**電機,MIZUDEN水谷電機工業(yè),WATANABE渡邊電機工業(yè),OJIDEN大阪自動電機株式會社,YAMAMOTO山本電機株式會社,KAMIUCHI(株)神內(nèi)電機制作所,SANEIKOSYO三栄工業(yè)(株),MITSUBOSHI三ツ星ベルト,EXTION中國臺灣大內(nèi),TERAUCHI株式會社寺內(nèi)製作所
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