MEGATORR逆流防止閥M-NW50泵用閥

MEGATORR逆流防止閥M-NW50泵用閥

逆流防止閥M-NW50,M-NW30H,M-NW40H

安裝在真空排氣泵上部，是在排氣泵緊急停止時(shí)切斷排氣線的部件。在成膜、剝離過程中產(chǎn)生的反應(yīng)產(chǎn)物和粉塵在Chamber內(nèi)和排氣系統(tǒng)中累積過程中如果泵緊急停止的話，會(huì)引起Chamber內(nèi)粉塵的飛揚(yáng)和管道等造成的Chamber內(nèi)產(chǎn)品污染。通過使用Chamber防護(hù)，在停止泵時(shí)，通過瞬間切斷排氣系統(tǒng)，防止粉塵逆流，保護(hù)產(chǎn)品不受污染。

非加熱插槽蝶泳閥門MR15KFVSP572,MR30ITV000SN,MR18KFVSF605

通過閥部0～90°可變來進(jìn)行真空壓力控制的節(jié)流閥。各種真空室（蝕刻裝置等）的壓力控制可以快速響應(yīng)，通過與AP系列控制器/電容計(jì)并用，可以在半導(dǎo)體等工藝中獲得高速響應(yīng)、真空壓力控制。

寬帶閥040(NW40),050(NW50),063(NW63),075(NW80)

在以往的真空壓力控制中，隨著過程的多樣化，壓力控制范圍也呈現(xiàn)出多樣化的趨勢(shì)，特別是在低真空（高壓）下壓力控制的需求增加。閥門加熱溫度也一樣，隨著過程氣體的多樣化，變得更需要溫度。為了滿足您的要求而開發(fā)的是這個(gè)寬帶閥門。

寬壓力控制范圍：101.33kPa（大氣壓）～10Pa以下（760Torr～70mTorr以下）可以控制，還能加熱到200℃。