HED型Wafer/ESD/TCP試驗(yàn)機(jī)阪和電子工業(yè)

HED型Wafer/ESD/TCP試驗(yàn)機(jī)阪和電子工業(yè)

Wafer ESD測(cè)試儀型號(hào)：HED-W5000M-WFC

在集成電路中安裝的保護(hù)電路的動(dòng)作參數(shù)的收集和分析中，TLP測(cè)試裝置發(fā)揮了很大的作用，但是在半導(dǎo)體的微細(xì)化進(jìn)程中，為了提高ESD抗藥性，需要進(jìn)一步的保護(hù)電路的開發(fā)速度。

HED-W5000M-WFC測(cè)試儀可以觀測(cè)實(shí)際加入設(shè)備的ESD波形，因此在保護(hù)電路參數(shù)的收集、分析、開發(fā)速度的縮短上發(fā)揮了很大的作用。

TCP試驗(yàn)機(jī)

型號(hào)：HED-5000VF

裝備著的測(cè)試模式。設(shè)置了施加脈沖寬度100ns/200ns的正常測(cè)試和將施加幅度縮小到1ns的VFTTLP（Very Fast TLP）的測(cè)試模式。

對(duì)ESD耐性的HBM/CDM測(cè)試的驗(yàn)證有效?？梢酝ㄟ^標(biāo)準(zhǔn)裝備的示波器確認(rèn)設(shè)備引腳的入射波和來自設(shè)備自旋的反射波。

此數(shù)據(jù)將被保存，并在監(jiān)視器中顯示。用監(jiān)視器可以跟蹤入射波/反射波的合計(jì)值、坐標(biāo)回特性、Vf/Im測(cè)量的泄露測(cè)量值等。

保存的示波器數(shù)據(jù)允許高自由度運(yùn)算。例如，對(duì)于改變了工序的晶體管的ON電壓和保護(hù)電路中流通的大電流值，可以通過重疊跟蹤來確認(rèn)差分。

此外，還可與半自動(dòng)程序等連接，使TLP測(cè)試自動(dòng)化。

因?yàn)榭梢赃M(jìn)行Wafer上施加的銷和芯片之間的自動(dòng)移位、自動(dòng)測(cè)量，所以測(cè)試效率大大提高。

型號(hào)：HED-5000-HC

現(xiàn)在，設(shè)備對(duì)于高集成、高頻、高耐壓的需求正在提高。

LD/LED ESD試驗(yàn)機(jī)

應(yīng)用→測(cè)量→自動(dòng)重復(fù)獲取施加電壓的周期數(shù)據(jù)。激光二極管的輸出電平（功率）的觀測(cè)由光電二極管進(jìn)行。顯示全部施加后的光輸出特性（IL），可以看到破壞的過程。2波長(zhǎng)的激光二極管的測(cè)量一次就可以。具有泄露（Vf/Im，Im/Vf）測(cè)量功能，同時(shí)可以進(jìn)行Vf/Im，Im/Vf測(cè)量。

隨著設(shè)備的精細(xì)化，LSI的電源電壓有下降的傾向。伴隨著這個(gè)，活動(dòng)也有下降的傾向，作為試驗(yàn)項(xiàng)目被重視。

另外，幾乎所有的LSI都是將I/O端子發(fā)出的噪音集中到電源和GND上的構(gòu)造，因此很有可能引起電源/GND的急劇變動(dòng)，因此確認(rèn)其影響很重要。

以前，在ESD槍上施加脈沖的情況下，即使以正極性施加，LSI針上出現(xiàn)的對(duì)電源電壓的噪聲也會(huì)產(chǎn)生振動(dòng)波形。

特別是在正方向和負(fù)方向的誤動(dòng)作的斷點(diǎn)不同的情況下，盡管是正極性施加，但也有可能發(fā)生超過負(fù)方向的斷點(diǎn)而導(dǎo)致的誤動(dòng)作。在HIT-5000中，通過加入矩形波，可以分別對(duì)正方向和負(fù)方向進(jìn)行評(píng)價(jià)。

靜電可視化監(jiān)視器

HSK-5008L靜電可視化監(jiān)視器

手持式靜電可視化監(jiān)視器。

配備8個(gè)線性傳感器，可輕松確認(rèn)靜電的帶電狀態(tài)。

與PC連接后，可使用軟件確認(rèn)靜電帶電狀態(tài)，確認(rèn)數(shù)值數(shù)據(jù)，保存測(cè)量數(shù)據(jù)。

HSK-5064靜電可視化監(jiān)視器

手持式靜電可視化監(jiān)視器。

64個(gè)傳感器可以同時(shí)和高速測(cè)量100mm×100mm的寬區(qū)域。

本產(chǎn)品不會(huì)錯(cuò)過區(qū)域內(nèi)的帶電部分，還可以實(shí)時(shí)監(jiān)控靜電的帶電形狀和經(jīng)過時(shí)間的帶電動(dòng)作。

與HSK-5008L相同，可使用軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)保管和再生。

HSK-V5000B靜電可視化監(jiān)視器

安裝型酒吧類型的靜電可視化監(jiān)視器。

安裝在測(cè)量對(duì)象物的附近，可以以面為單位監(jiān)視時(shí)常帶電量，并且可以瞬間捕捉到大范圍的帶電量，是劃時(shí)代的裝置。（例）膠片、液晶面板、紙等

根據(jù)您的要求，可以靈活地定制測(cè)量范圍、傳感器的數(shù)量等。