東京精密ACCRETECH拋光機(jī)PG3000RMX拋光機(jī)PG3000RMX；高剛性磨床HRG3000RMX,HRG300,HRG300A,HRG200X
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東京精密ACCRETECH拋光機(jī)PG3000RMX
東京精密ACCRETECH拋光機(jī)PG3000RMX
拋光機(jī)PG3000RMX；高剛性磨床HRG3000RMX,HRG300,HRG300A,HRG200X
PG3000RMX特征：
除了“PG300/PG200"工藝之外，還實(shí)現(xiàn)了從薄化晶圓上貼附的表面保護(hù)膠帶剝離到將晶圓貼附到切割框上的工藝，在一臺(tái)設(shè)備中實(shí)現(xiàn)。
粗磨、精磨、拋光工序用一臺(tái)設(shè)備實(shí)現(xiàn)晶圓的雙面清洗。無(wú)需使用化學(xué)品即可去除受損層。不會(huì)因濕法工藝而產(chǎn)生粉塵。
數(shù)據(jù)管理和通信，包括與傳輸機(jī)制一致的RM模塊，以限度地減少薄晶圓傳輸?shù)臄?shù)量。
高剛性磨床HRG3000RMX特征：
實(shí)現(xiàn)短時(shí)間內(nèi)無(wú)損傷加工。加工成本低。高精度加工。達(dá)到鏡面效果。
高剛性磨床HRG300/HRG300A特征：
通過(guò)將加工點(diǎn)配置在三角形排列的滑動(dòng)導(dǎo)軌的中心位置，并將橫向進(jìn)給進(jìn)給軸配置在加工點(diǎn)上，具有對(duì)磨削負(fù)荷的機(jī)械變形小的結(jié)構(gòu)。
由于其高剛性，它可以在短時(shí)間內(nèi)加工，同時(shí)抑制磨削損傷。
由于其高剛性，可以進(jìn)行適當(dāng)?shù)淖凿J性加工。延長(zhǎng)砂輪的使用壽命。
配備用于批處理的過(guò)程中測(cè)量?jī)x，在批處理過(guò)程中測(cè)量晶圓厚度。
全自動(dòng)高剛性二軸磨床HRG200X特征：
實(shí)現(xiàn)短時(shí)間內(nèi)無(wú)損傷加工。
加工成本低。
高精度加工。
達(dá)到鏡面效果。
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