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正品原廠hitachi日立高分辨場發(fā)射掃描電鏡 電子顯微鏡

簡要描述：

正品原廠hitachi日立高分辨場發(fā)射掃描電鏡
采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能

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正品原廠hitachi日立高分辨場發(fā)射掃描電鏡

正品原廠hitachi日立高分辨場發(fā)射掃描電鏡

  • 沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍*2
  • 采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能
  • 與現(xiàn)有機(jī)型相比分辨率提高了20％左右
    (Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)
  • 采用污染小、高真空樣品倉
項(xiàng)目Regulus 8100Regulus 8220Regulus 8230Regulus 8240
二次電子分辨率0.8 nm
（加速電壓15 kV）
1.1 nm
（著陸電壓1 kV）*3		0.7 nm（加速電壓 15 kV）
0.9 nm（著陸電壓 1 kV）*3
著陸電壓0.1～2 kV0.01～20 kV
放大倍率20～1,000,000倍*420～2,000,000倍*4
樣品臺樣品臺控制3軸馬達(dá)臺（可選5軸馬達(dá)臺）5軸馬達(dá)驅(qū)動
移動范圍X0～50 mm0～50 mm0～110 mm0～110 mm
Y0～50 mm0～50 mm0～110 mm0～80 mm
R360°
T-5～70°
Z1.5～30 mm1.5～40 mm
再現(xiàn)性---±0.5 µm以下含±0.5 µm

 

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