正品直銷hitachi日立FIB-SEM三束系統(tǒng) 通過自動(dòng)重復(fù)使用FIB制備截面和進(jìn)行SEM觀察，采集一系列連續(xù)截面圖像，并重構(gòu)特定微區(qū)的三維結(jié)構(gòu)
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正品直銷hitachi日立FIB-SEM三束系統(tǒng)
正品直銷hitachi日立FIB-SEM三束系統(tǒng)
NX2000 NX9000
追求理想的三維結(jié)構(gòu)分析
通過自動(dòng)重復(fù)使用FIB制備截面和進(jìn)行SEM觀察，采集一系列連續(xù)截面圖像，并重構(gòu)特定微區(qū)的三維結(jié)構(gòu)。
采用理想的鏡筒布局，從先進(jìn)材料、先進(jìn)設(shè)備到生物組織——在寬廣的領(lǐng)域范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)傳統(tǒng)機(jī)型難以企及的高精度三維結(jié)構(gòu)分析。
| 項(xiàng)目 | 內(nèi)容 | |
|---|---|---|
| SEM | 電子源 | 冷場場發(fā)射型 |
| 加速電壓 | 0.1 ～ 30 kV | |
| 分辨率 | 2.1 nm@1 kV | |
| 1.6 nm@15 kV | ||
| FIB | 離子源 | 鎵 |
| 加速電壓 | 0.5 ～ 30 kV | |
| 分辨率 | 4.0 nm@30 kV | |
| 大束流 | 100 nA | |
| 標(biāo)準(zhǔn)探測器 | In-colum二次電子探測器/In-colum背散射電子探測器/ 樣品室二次電子探測器 | |
| 樣品臺(tái) | X | 0 ～ 20 mm *2 |
| Y | 0 ～ 20 mm *2 | |
| Z | 0 ～ 20 mm *2 | |
| θ | 0 ～ 360° *2 | |
| τ | -25 ～ 45° *2 | |
| 大樣品尺寸 | 正方形邊長6 mm × 厚度2 mm | |
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