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正規(guī)代理hitachi日立聚焦離子束系統(tǒng) 顯微鏡/望遠鏡

簡要描述：

正規(guī)代理hitachi日立聚焦離子束系統(tǒng)
新型電子光學系統(tǒng)，可達到世界高水準的SIM像分辨率?大束流使加工速度得以提升?提高了低加速電壓的分辨率，使得高品質(zhì)TEM樣品制備成為可能

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正規(guī)代理hitachi日立聚焦離子束系統(tǒng)

正規(guī)代理hitachi日立聚焦離子束系統(tǒng)

MI4050是具有以下特征的高性能聚焦離子束系統(tǒng)：新型電子光學系統(tǒng)，可達到世界高水準的SIM像分辨率?大束流使加工速度得以提升?提高了低加速電壓的分辨率，使得高品質(zhì)TEM樣品制備成為可能
可用于截面加工觀察，高品質(zhì)TEM樣品制備，電路修復，Vector Scan加工，微納米級微細圖形及磨具加工，利用沉積功能制作3維構(gòu)造等眾多樣品加工應用。

通過提高極低加速電壓（0.5kV～）加工及低加速電壓二次電子圖像分辨率，實現(xiàn)制備損傷率更低的TEM樣品

*的操作性能和多種多樣的加工模式

  • 截面制備程序加工
  • TEM/STEM樣品程序加工
  • 自動連續(xù)加工
  • TEM樣品自動連續(xù)精加工軟件
  • 位圖加工
  • Vector Scan加工
  • 制備納米精度三維結(jié)構(gòu)樣品 其他
項目內(nèi)容
樣品尺寸50mm×50mm×12mm（t）以下
樣品臺5軸電動機械優(yōu)中心馬達臺
加速電壓1～30kV?。?.5kV～　選配）
（0.5～1.0kV ： 步長0.1kV）
（1.0～2.0kV ： 步長0.2kV）
二次電子分辨率4nm＠30kV
大探針電流90nA
大探針電流密度50A/cm2

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